机械行业常用的精确测量工具，大体分为分直线游标类和螺旋筒测微类，直线游标类精度常为0.02毫米，比如卡尺，深度尺，高度尺等，而螺旋测微类的就是通常所说的千分尺，但这个是个不严肃的叫法，因为螺旋筒一圈的刻度是50个格，用这个刻度去等分0.5毫米，精度应该是0.01毫米，比如内径千分尺，外径千分尺，内径千分棍，三爪卡规等。
量具的发展是和机械的发展相辅相成的，目前更精确的量具都使用了电子显示系统，就是说，量具都应用了磁栅等先进技术来显示数据而消除了人为读数的误差。而早先，人们想到的是百分表，把表装在量具上，让表随着副尺位移而显示指针数据。
加工行业，还有一个不得不提，即内径百分表，在深孔的测量中还是没有什么东西可代替它的，比如千分棍，通常在100毫米下的深孔就摒弃不用了，三爪规的深度量程也有一个限度，而内径百分表的量程却可以达到表杆的长度。但它一个弱点就是不能直接读数，需要先用外径千分尺校验零点。